Takahata, K. (2009). Micro electronic and mechanical systems. IntechOpen.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Takahata, Kenichi. Micro Electronic and Mechanical Systems. [Place of publication not identified]: IntechOpen, 2009.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Takahata, Kenichi. Micro Electronic and Mechanical Systems. IntechOpen, 2009.
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