Niobium Oxide Films Deposited by Reactive Sputtering: Effect of Oxygen Flow Rate

Weitere Titel:

Couches d'oxyde de niobium déposées par pulvérisation réactive
Niobium Oxide Films Deposited by Reactive Sputtering

Format:

Elektronisch

Sprache:

Englisch

Veröffentlicht:

MyJoVE Corp.