2010 Proceedings of VIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design /

Gespeichert in:
Körperschaft:
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Format:
Elektronisch E-Book
Sprache:
Englisch
Veröffentlicht:
[Place of publication not identified] : IEEE, [2010]
Umfang:
1 online resource (xi, 268 pages)
Anmerkungen:
Includes index.
ISBN:
966-2191-11-9
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Congresses.
Bezugswerke:
Links: