2020 IEEE XVIth International Conference on the Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH) /

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Weitere Titel:
2020 IEEE XVIth International Conference on the Perspective Technologies and Methods in MEMS Design
Körperschaft:
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Format:
Elektronisch E-Book
Sprache:
Englisch
Veröffentlicht:
Piscataway, NJ : IEEE, 2020.
Umfang:
1 online resource
ISBN:
9781728171807
1728171806
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Congresses.
Microelectromechanical systems.
Bezugswerke:
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