Contact related Failure Detection of Semiconductor Layer Stacks using an Acoustic Emission Test Method
Gespeichert in:
- 1. Verfasser:
- Format:
- Elektronisch E-Book
- Sprache:
- Englisch
- Veröffentlicht:
-
Erlangen
FAU University Press
2020
- Umfang:
- 1 Online-Ressource (1 electronic resource (234 pages))
- Anmerkungen:
- English
- ISBN:
- 9783961473052
- Zugangseinschränkungen:
- Open Access
- Schlagworte:
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