Plasma aided nanofabrication from plasma sources to nanoassembly

Gespeichert in:
Weitere Titel:
Plasma-aided nanofabrication
Hauptverfasser:
Ostrikov, Kostya, Xu, Shuyan
Format:
Buch
Sprache:
Englisch
Veröffentlicht:
Weinheim Wiley-VCH 2007
Bestände:
  • Geb. 25.22 1. Etage: phyv100.o85
Umfang:
XIII, 300 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:
9783527406333
Schlagworte:
Nanotechnologie
Kaltes Plasma
Notationen:
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