Papers from the 40th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication 28 - 31 May 1996, Atlanta, Georgia

Gespeichert in:

1. Verfasser:

Pang, Stella W. (HerausgeberIn)

Körperschaft:

Format:

Tagungsbericht Buchkapitel

Sprache:

Englisch

Veröffentlicht:

New York 1996

Bestände:

Umfang:

Ill., graph. Darst.

Anmerkungen:

In: Journal of vacuum science & technology. B. - ISSN 0734-211X. - Ser. 2, Vol. 14 (1996),6, S. 3619 - 4370

ISBN:

1563966727

Schlagworte:

Teilchenstrahl

Bezugswerke:

Notationen:

phyu350

Links: