Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganischen Substraten

Gespeichert in:
1. Verfasser:
Gesang, Thomas
Format:
Abschlussarbeit Buch Dissertation
Sprache:
Deutsch
Veröffentlicht:
Düsseldorf VDI-Verl. 1996
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
Bestände:
  • Magazin: pfl/6391
Umfang:
VI, 144 S. : Ill., graph. Darst.
Anmerkungen:
Dortmund, Univ., Diss., 1995
Schriftenreihe:
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 3, Verfahrenstechnik ; 438
ISBN:
3183438038
Schlagworte:
Silicium
Kristallfläche
Wafer
Polymerfilm
Filmbildung
Rastersondenmikroskopie
Aluminium
Aufdampfschicht
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