Ion solid interactions fundamentals and applications

Weitere Titel:

Ion-solid

Hauptverfasser:

Nastasi, Michael, Mayer, James W., Hirvonen, James K.

Format:

Buch

Sprache:

Englisch

Veröffentlicht:

Cambridge Cambridge University Press 1996

Bestände:

• Außenmagazin: phy/b3231

Umfang:

XXVI, 540 S. : Ill.

Anmerkungen:

Includes bibliographies and index

Schriftenreihe:

Cambridge solid state science series

ISBN:

052137376X

Schlagworte:

Ionenimplantation

Ionenstrahlbearbeitung

Notationen:

phyu350

Links:

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