Entwicklung eines allgemeinen dreidimensionalen physikalischen Modells zur Simulation von Abscheideprofilen in Kathodenzerstäubungsanlagen

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Main Author:

Stache, Joachim

Format:

Book

Language:

German

Published:

Düsseldorf VDI-Verl. 1996

Edition:

Als Ms. gedr.

Holdings:

Physical Description:

IX, 116 S. : graph. Darst.

Series:

Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 21, Elektrotechnik ; 197

ISBN:

3183197219

Subjects:

Aluminium

Magnetronsputtern

Diffusionsgleichung

Monte-Carlo-Simulation

Wolfram

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