Textur- und Spannungsanalyse an dünnen epitaktischen Diamantschichten auf Silizium

Gespeichert in:
1. Verfasser:
Geier, Stephan
Format:
Buch
Sprache:
Deutsch
Veröffentlicht:
Düsseldorf VDI-Verl. 1996
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
Bestände:
  • Magazin: pfl/5475
Umfang:
VII, 139 S. : Ill., graph. Darst.
Schriftenreihe:
Fortschritt-Bericht VDI : Reihe 9, Elektronik ; 223
ISBN:
3183223090
Schlagworte:
Silicium
Substrat Mikroelektronik
Diamant
Dünne Schicht
CVD-Verfahren
Texturanalyse
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