Anlagenentwicklung unter unsicheren Annahmen am Beispiel einer lasergestützten Präzisionsbearbeitungsstation

Gespeichert in:
1. Verfasser:
Heekenjann, Peter B.
Format:
Buch
Sprache:
Deutsch
Veröffentlicht:
Düsseldorf VDI-Verl. 1996
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
Bestände:
  • Magazin: pfl/5484
Umfang:
IX, 123 S. : Ill., graph. Darst.
Schriftenreihe:
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 370
IFW-Produktionstechnik
ISBN:
3183370026
Schlagworte:
Feinbearbeitung
Laserlithografie
Maskentechnik
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