Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Smart-Power-Prozesses zur Herstellung intelligenter Leistungshalbleiter auf SIMOX-Substraten

Gespeichert in:
1. Verfasser:
Vogt, Franz
Format:
Abschlussarbeit Buch Dissertation
Sprache:
Deutsch
Veröffentlicht:
Düsseldorf VDI-Verl. 1996
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
Bestände:
  • Magazin: pfl/5476
Umfang:
X, 192 S. : Ill., graph. Darst.
Anmerkungen:
Duisburg, Univ., Diss., 1995
Schriftenreihe:
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 224
ISBN:
3183224097
Schlagworte:
Smart-power-Bauelement
CMOS
SIMOX
Substrat Mikroelektronik
Leistungstransistor
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