Entwicklung und Untersuchung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors mit einer Differential-Tunnelstrecke

Gespeichert in:
1. Verfasser:
Schoth, Andreas
Format:
Abschlussarbeit Buch Dissertation
Sprache:
Deutsch
Veröffentlicht:
Düsseldorf VDI-Verl. 1995
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
Bestände:
  • Magazin: pfl/4765
Umfang:
XV, 129 S. : Ill., graph. Darst.
Anmerkungen:
Richtiger Name d. Verf.: Andreas Schoth
Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995
Schriftenreihe:
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 520
ISBN:
3183520087
Schlagworte:
Beschleunigungssensor
Tunnelkontakt
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