Elektrische Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie

Gespeichert in:
1. Verfasser:
Boehm, Christoph
Format:
Abschlussarbeit Buch Dissertation
Sprache:
Deutsch
Veröffentlicht:
Düsseldorf VDI-Verl. 1995
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
Bestände:
  • Magazin: pfl/4767
Umfang:
X, 124 S. : Ill., graph. Darst.
Anmerkungen:
Duisburg, Univ., Diss., 1995
Schriftenreihe:
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 524
ISBN:
3183524082
Schlagworte:
Analoge integrierte Schaltung
VLSI
Elektrische Eigenschaft
Testbarkeit
Rasterkraftmikroskopie
Fehlererkennung
Digitale integrierte Schaltung
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