LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik Bestimmung der elastischen Eigenschaften

Gespeichert in:
1. Verfasser:
Maier-Schneider, Dieter
Format:
Abschlussarbeit Buch Dissertation
Sprache:
Deutsch
Veröffentlicht:
Düsseldorf VDI-Verl. 1995
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
Bestände:
  • Magazin: pfl/4334
Umfang:
XII, 116 S. : Ill., graph. Darst.
Anmerkungen:
Berlin, Techn. Univ., Diss.
Schriftenreihe:
Fortschrittberichte VDI : Reihe 18, Mechanik, Bruchmechanik ; 183
ISBN:
3183183188
Schlagworte:
LPCVD-Verfahren
Silicium
Polykristall
Elastizitätsmodul
Eigenspannung
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