Der Einfluß thermischer Spannungen auf die Defektstruktur in heteroepitaktischen Halbleiterfilmen

Gespeichert in:
1. Verfasser:
Roos, Bernd
Format:
Abschlussarbeit Buch Dissertation
Sprache:
Deutsch
Veröffentlicht:
Düsseldorf VDI-Verl. 1994
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
Bestände:
  • Magazin: pfl/1039
Umfang:
127 S. : Ill., graph. Darst.
Anmerkungen:
Stuttgart, Univ., Diss.
Schriftenreihe:
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 358
ISBN:
3183358050
Schlagworte:
Halbleiterschicht
Heteroepitaxie
Silicium
Substrat Mikroelektronik
Grenzfläche
Mechanische Spannung
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